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國興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503
主機尺寸：2000W x 1700D x 2500H mm（可定制化）
真空腔體尺寸： 1140W x 1560D x 960H mm（可定制化）
電極板配置：16 片垂直電極板，15 個處理位置
有效區(qū)域：1115W x 630H mm（可定制化）
等離子體電源：定制化
工藝氣體控制：
標(biāo)配：
O2、N2：0~5000sccm；
CF4：0~400sccm；
Ar：0~2000sccm；
可選： 額外一路工藝氣體，流量范圍可定制
