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AGV自動化真空等離子處理系統(tǒng)
1、PCB臺車架定位、升降機構(gòu)；
2、PCB載具；
3、六軸機械手取板及CCD定位機構(gòu)；
4、六軸機械手上、下板機構(gòu)；
5、框架固定、可調(diào)機構(gòu)；
6、夾具開閉機構(gòu)；
7、PCB翻轉(zhuǎn)傳送機構(gòu)；
8、AGV輸送運行系統(tǒng)（AGV架構(gòu)運行環(huán)境）
9、Plasma托架進出機構(gòu)；
10、電控系統(tǒng)；
11、安全防護系統(tǒng)。
