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國(guó)興技術(shù)等離子處理測(cè)試方法和標(biāo)準(zhǔn)：
序號(hào) | 方法 | 描述 | 標(biāo)準(zhǔn) | 建議 |
1 | 達(dá)因筆 | 達(dá)因：[英dyne]力的單位，物體表面能的大小單位，達(dá)因值小，物體表面能低，達(dá)因值大，物體表面能大，表面能越大，吸附性越好，粘接和塗覆效果越佳； 有達(dá)因筆可以直接測(cè)試物體表面能量的大小，使用方便可靠 | 處理前在工件表面用達(dá)因筆測(cè)試，一般在40達(dá)因以下，不利於粘接和塗覆；處理後工件表面達(dá)因值可達(dá)55-60以上（不同材料處理效果不同），比較有利於粘接和塗覆； | 操作簡(jiǎn)單可靠，建議使用 |
2 | 水滴測(cè)試 | 水的達(dá)因值是72，一般處理後的工件如果親水性良好，那麼說(shuō)明表面能較高，已經(jīng)超過(guò)70達(dá)因，粘接和塗覆比較理想 | 使用比較細(xì)的針管滴定，水滴到工件表面後能均勻散開，不積聚在一起； | 水滴測(cè)試簡(jiǎn)單方便，但有些材料處理後表面能達(dá)不到70達(dá)因，用此方法就不明顯； |
3 | SEM掃描 | SEM：電子掃描電鏡的簡(jiǎn)稱，可以將物體表面放大到幾千倍，將分子結(jié)構(gòu)般的微觀圖片拍攝出來(lái) | 如果是做等離子刻蝕或清洗，可以清晰的看到表面的結(jié)構(gòu)變化 | 設(shè)備比較昂貴，較少公司擁有 |
4 | 膠帶拉力測(cè)試 | 使用膠帶貼附在工件表面，使用拉力測(cè)試儀器拉伸粘附的膠帶，拉力測(cè)試儀會(huì)顯示最大拉力值，這樣可以很明顯的測(cè)試出等離子處理前後的工件粘附效果的數(shù)據(jù)，從數(shù)據(jù)來(lái)判定較為理想的等離子處理參數(shù) | 根據(jù)不同的產(chǎn)品，處理前後的拉力值的變化最大的參數(shù)為最佳 | 測(cè)試使用，量產(chǎn)不適用 |
5 | 紅外線掃描 | 利用紅外線測(cè)試設(shè)備，能測(cè)試出工件經(jīng)過(guò)等離子處理前後，工件表面極性基團(tuán)和元素成份組合狀況 | 查看紅外線數(shù)據(jù)，檢測(cè)處理前後元素成份變化和極性基團(tuán)的變化，不同材料不同標(biāo)準(zhǔn) | 設(shè)備價(jià)格比較昂貴，較少公司擁有 |
6 | 稱重法 | 等離子刻蝕均勻性的測(cè)試方法，將腔體內(nèi)不同的位置放置相同的工件，一般使用10*10cm環(huán)氧片作為基材，等離子處理測(cè)試前烘烤乾燥，稱重，記錄，等離子處理完畢，取出稱重，記錄，整理數(shù)據(jù)，可以從處理前後的重量差（即刻蝕量）來(lái)反應(yīng)等離子的均勻性 | 均勻性大於80%即為合格 | 等離子大型刻蝕機(jī)使用，小型機(jī)或表面清潔活化機(jī)型不適用 |
