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電漿的產(chǎn)生需利用電磁場(chǎng)來(lái)提供能量以加速電子，因此電子在電場(chǎng)中吸收能量，若能量累積夠高時(shí)，將足以使被碰撞的氣體分子產(chǎn)生解離（ionization），使電子數(shù)目增加，而新生電子與原先電子再進(jìn)一步吸收能量，產(chǎn)生更多的電子，形成連鎖反應(yīng)（chain reaction）。所以，電子需在電場(chǎng)中吸收能量並累積到足以使氣體解離時(shí)才能產(chǎn)生電漿。
電子最高動(dòng)能 ＝ 電場(chǎng)對(duì)電子所做功之累積
＝ F × d
＝ q × ε × λ
F：作用力，d：距離，
q：電子電荷量，ε：電場(chǎng)強(qiáng)度，λ：電子的平均自由途徑
低壓電漿因電子的平均自由途徑較其他粒子長(zhǎng)許多，因而可獲得足夠解離其他氣體的能量，但在壓力為一大氣壓時(shí)下，由於氣體分子碰撞頻繁而平均自由途徑非常的短，故電子難以累積足夠的能量來(lái)解離氣體分子，因而無(wú)法啟動(dòng)電漿。
此時(shí)，要產(chǎn)生電漿的方式有二種：(一)提高外加電源的電位至幾千伏特以上，使電子在兩次碰撞間的有限的距離累積內(nèi)獲得足夠的能量，以進(jìn)行離子化反應(yīng)產(chǎn)生電漿；(二)提供大量電流加熱氣體分子，形成高溫電漿。此外，常壓電漿相較於低壓電漿，常會(huì)遇到特有的各種放電不穩(wěn)定問(wèn)題，也就是說(shuō)常壓電漿容易侷限在特定的局部區(qū)域，因而必須使用昂貴但容易放電的氰氣或氦氣做為製程氣體加以克服。如何建立便宜、大面積且高效率的常壓電漿技術(shù)仍為全世界正在努力解決的問(wèn)題，也是業(yè)界最難突破的技術(shù)瓶頸。
